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ITO靶材制备用气氛升降爐的设计方案及要求

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ITO靶材制备用气氛升降爐的设计方案及要求

作者:江蘇前錦業設備有限公司

關鍵詞:升降爐

   玻璃显示有着及其广泛的应用领域,手机、电脑、电视、触摸显示屏等都离不开它。但是玻璃本身即不导电也不发光。它能显示其奥秘就在它背后的那层肉眼不可见透明的膜。也就是我们常说的ITO靶材。ITO靶材的制备技术长期被日本、韩国等垄断。但是随着其在工业领域的地位越来越重要,我们也开始研发它的制备技术。

今天我们就来介绍ITO靶材烧结用气氛升降爐的设计方案及要求。

在ITO靶材的制备中共有两个步骤的烧结,一是粉料的煅烧,关于这个工艺设备在以前的文章中已经有过介绍。第二个就是由粉料压制成靶后的高温烧结。它需要约1650度的氧气环境下煅烧,所以我们选在气氛升降爐为炉型。为使靶材具有最好的性能,需要满足以下最重要的三个条件:温度均匀性、气氛均匀性以及炉膛洁净度。下面我们就着重介绍主要的技术参数。本设计方案中所烧结的靶材为平面靶。

气氛升降爐炉膛界面图

微信截图_20190831214915.png

在爐膛尺寸方面,設計有效容積爲深1500mm,寬1100mm,高650mm。設計溫度爲1750度,長時間使用溫度爲1650度,采用矽钼棒加熱。在爐膛材料的選擇上采用1900型氧化鋁陶瓷纖維棉板,並覆有耐溫1800度的納米塗層起到固化纖維棉板的表面,能夠在長時間的使用過程中不掉落雜質。

全爐共設32台氣體流量計來控制氧氣進入,並配有氣體預熱裝置,使氣體充分預熱後再進入爐膛,能有效的提升爐膛溫度均勻性。並設6個控溫點,采用B型熱電偶控溫。再排氣方面,頂部共設3路排氣,通過變頻風機控制,能有效排除在排膠工藝及燒結工藝時的廢氣。

ITO靶材制备用气氛升降爐的设计方案及要求

气氛升降爐实样

微信截图_20190601211628.jpg

 

 

 


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